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协作机器人晶圆搬运解决方案

发布时间:2021-09-14

案例解析-晶圆盒搬运0814.1.png

解决方案

       该应用采用AMR复合机器人来实现晶圆搬运及上下料。AMR复合机器人由海默HM16/HM25协作机器人与具有激光导航的AGV深度融合而成。针对晶圆昂贵且易碎,各道工序间间隔大,周转频繁等特点,使用该款复合机器人可以实现精确定位和快速平稳搬运,可以有效辅助操作员进行作业,提高工作效率,减少损耗和人工。

方案优势

       1、符合洁净环境工作要求,产品通过100级发尘测试;

       2、机器人关节灵活,可以满足不同方向的抓取需求;

       3、具有激光导航,可自动避障;

       4、通过MES系统可灵活调动复合机器人位置搬运;

       5、深度融合,从底层打通AGV,机器人,3D相机,多设备共享控制终端;

       6、工作效率高、时间长、可不间断工作8小时以上。

适用行业

应用于电子、3C等行业。


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