解决方案

       该应用采用复合机器人来实现晶圆搬运及上下料。复合机器人由海默HM16/HM25协作机器人与具有激光导航的AMR深度融合而成。针对晶圆昂贵且易碎，各道工序间间隔大，周转频繁等特点，使用该款复合机器人可以实现精确定位和快速平稳搬运，可以有效辅助操作员进行作业，提高工作效率，减少损耗和人工。

方案优势

       1、符合洁净环境工作要求，产品通过100级发尘测试；

       2、机器人关节灵活，可以满足不同方向的抓取需求；

       3、具有激光导航，可自动避障；

       4、通过MES系统可灵活调动复合机器人位置搬运；

       5、深度融合，从底层打通AGV,机器人,3D相机，多设备共享控制终端；

       6、工作效率高、时间长、可不间断工作8小时以上。

适用行业

应用于电子、3C等行业。